中央集塵系統設計資料.doc
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系統簡介
1.1 系統用途
真空吸塵系統提供無塵室內部清潔除塵工作，以確保各生產區域保持一定的潔淨度。
1.2 主要設備
A. 真空製造機(Vacuum Producer)
當系統真空度下降至設定點時，真空製造機能迅速地將系統真空度提高至設定值。
B. 分離器(Separator)
分離從製程或被清潔場所來之含粉塵空氣，並收集粉塵。
C. 電子式旁通閥(Electronic Modulating Bleed Control；EMBC)
避免真空製造機運轉於低風量時，所產生氣流逆流現象造成脈湧(Surge)，影響真空製造機壽命。
D. 管路末端飼風系統
避免於低流量時，因管徑較大，流速降低，使粉塵堆積在管路中而造成阻塞。乃利用現場真空度之變化來控制電動閥之開度，增加流速，避免阻塞。
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