JC/T2372-2016集成電路用石英舟.pdf
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本標準規定了集成電路用石英舟的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、清洗、包裝、運輸和貯存。本標準適用于集成電路制造工藝用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及臥式石英舟。
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本標準規定了集成電路用石英舟的術語和定義、分類和標記、材料、要求、試驗方法、檢驗規則以及標志、清洗、包裝、運輸和貯存。本標準適用于集成電路制造工藝用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及臥式石英舟。